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真空鍍膜機（鍍膜機）的主要構(gòu)造
根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不
此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成
排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候，機
械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。
機械泵：也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使
機械泵有很多種，第用的有滑閥式（此主要應(yīng)用于大型設(shè)備）、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式（此目前應(yīng)用最廣泛，本文主要介紹）四種類
機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除永久性的氣體，但是對水氣沒
有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個內(nèi)切圓，
轉(zhuǎn)子看內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈黃，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。
它的兩個彈片交替起著兩方面的作用，一方面從進(jìn)氣口吸進(jìn)氣體，另一方面壓縮已經(jīng)吸進(jìn)的氣體，將氣體排出泵外。轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周，泵完成
兩次吸氣和兩次排氣。當(dāng)泵連續(xù)順時針轉(zhuǎn)動時，旋片泵不斷的通過進(jìn)氣口吸入氣體，又從排氣口不斷的排出泵外，實現(xiàn)對容器抽氣的目的。為
了提高泵的極限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的間隙中及有害空間里面經(jīng)常保持足夠的油，把空隙填滿，所以油一方面起到
了潤滑作用，另一方面又起了密封和墻塞縫演及有害空間的作用，防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強低的空間去。
機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到
1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
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